Axcelis Technologies, Inc.

Axcelis Technologies, Inc. ontwerpt, vervaardigt en onderhoudt ionenimplantatie- en andere verwerkingsapparatuur die wordt gebruikt bij de vervaardiging van halfgeleiderchips. Het bedrijf biedt een complete lijn van implantatoren met hoge energie, hoge stroom en gemiddelde stroom voor alle toepassingsvereisten. Naast de apparatuur biedt het bedrijf uitgebreide aftermarket producten en diensten, waaronder gebruikte gereedschappen, reserveonderdelen, upgrades van apparatuur, onderhoudsdiensten en training van klanten. Alle Purion-systemen zijn gebaseerd op een gemeenschappelijk platform, dat een combinatie van implantaatzuiverheid, precisie en productiviteit mogelijk maakt. Door een enkel wafereindstation te combineren met geavanceerde puntstraalarchitecturen (die ervoor zorgen dat alle punten op de wafer dezelfde straaltoestand zien onder dezelfde stralingshoek), maken de Purion-producten procescontrole mogelijk om de prestaties en de opbrengst van het apparaat te optimaliseren, met een hoge productiviteit. De onderneming verkoopt haar producten aan fabrikanten van halfgeleiderchips over de hele wereld.