Intel en ASML versterken samenwerking om High-NA in productie te brengen in 2025
19 januari 2022 om 07:02 uur
Delen
ASML Holding N.V. (ASML) en Intel Corporation (INTC) kondigden de nieuwste fase aan van hun langdurige samenwerking om de geavanceerde technologie voor halfgeleiderlithografie te bevorderen. Intel heeft zijn eerste inkooporder geplaatst bij ASML voor de levering van het eerste TWINSCAN EXE:5200 systeem in de sector, een extreem ultraviolet (EUV) hoog-volume productiesysteem met een hoge numerieke apertuur en een productiviteit van meer dan 200 wafers per uur, als onderdeel van de langdurige High-NA samenwerking tussen beide bedrijven. Intel kondigde op zijn Accelerated-evenement in juli aan dat het van plan is de eerste High-NA-technologie in te zetten om zijn routekaart van transistorinnovaties mogelijk te maken. Intel kocht als eerste het eerdere TWINSCAN EXE:5000-systeem in 2018, en met de aangekondigde nieuwe aankoop vervolgt de samenwerking het pad voor Intels productieproductie met High-NA EUV beginnend in 2025. Het EXE-platform is een evolutionaire stap in EUV-technologie en omvat een nieuw optisch ontwerp en aanzienlijk snellere dradenkruis- en wafertrappen. De TWINSCAN EXE:5000 en EXE:5200 systemen bieden een numerieke apertuur van 0,55. Dit is een precisiestijging ten opzichte van eerdere EUV-machines met een lens met een numerieke apertuur van 0,33, zodat patronen met een hogere resolutie kunnen worden gemaakt voor nog kleinere transistorelementen. De numerieke apertuur van het systeem, in combinatie met de gebruikte golflengte, bepaalt het kleinste afdrukbare onderdeel.
Delen
Naar het originele artikel.
Wettelijke waarschuwing
ASML Holding N.V. is wereldwijd één van de grootste fabrikanten van lithografiemateriaal bestemd voor de industrie van halfgeleiders. De apparatuur van het concern is bestemd voor het drukken van IC's op zeer dunne siliciumplaatjes. De omzet per activiteit is als volgt onderverdeeld:
- verkoop van lithografiemateriaal (79,6%). Het concern biedt verder optische lithografieproducten en -componenten;
- dienstverlening (20,4%).
De geografische verdeling van de omzet is als volgt: Nederland (0,1%), Europa-Midden-Oosten-Afrika (4,4%), Taiwan (29,3%), Zuid-Korea (25,2%), China (26,3%), Japan (2,2%), Singapore (1%), Azië ( 0,1%) en de Verenigde Staten (11,4%).