Onto Innovation Inc. houdt zich bezig met het ontwerpen, ontwikkelen, produceren en ondersteunen van meet- en inspectie-instrumenten voor de halfgeleiderindustrie. De producten van het bedrijf omvatten geautomatiseerde meetsystemen; geïntegreerde meetsystemen; inspectie/karakterisering van het volledige oppervlak van siliciumwafers; inspectie van macrodefecten; geautomatiseerde classificatie van defecten en patroonanalyse; opbrengstanalyse; metrologie van ondoorzichtige film en andere. De producten worden voornamelijk gebruikt door fabrikanten van siliciumwafers, fabrikanten van geïntegreerde schakelingen voor halfgeleiders en geavanceerde verpakkingsfabrikanten die actief zijn op de halfgeleidermarkt. De producten worden ook gebruikt voor procesbesturing in een aantal andere speciale productmarkten, waaronder lichtgevende diodes, verticale oppervlakte-emitterende lasers, micro-elektromechanische systemen, CMOS-beeldsensoren, voedingsapparaten van silicium en samengestelde halfgeleiders, analoge apparaten, RF-filters, gegevensopslag en bepaalde industriële en wetenschappelijke toepassingen.