Onto Innovation Inc. heeft de volgende evolutionaire stap aangekondigd van innovatieve akoestische metrologieproducten. Het nieuwe Echo systeem breidt de markt voor in-line karakterisering van ondoorzichtige films, die op op ongeveer $110 miljoen wordt geschat, verder uit door gebruik te maken van het principe van picoseconde-ultrasoontechniek om kritische diktemetrologie en materiaalkarakterisering te leveren voor belangrijke technologie-overgangen in de toonaangevende DRAM- en high-stack NAND-geheugenmarkten. Voor deze geavanceerde architecturen levert het Echo systeem kritische metaalfilmmetrologie die een grotere geheugenbandbreedte en bitdichtheid mogelijk maakt. In gespecialiseerde segmenten biedt het Echo-systeem metaaldikte en -karakterisering voor een verscheidenheid van apparaten, waaronder RF-filters voor 5G-communicatie, en stroomvoorzieningen voor de snel groeiende markten voor elektrische voertuigen (EV) en snelle draagbare opladers. Onto Innovation's Echo ondoorzichtige film akoestische metrologieproduct. Geschikt voor enkele of meerlaagse filmmetingen van 50Å tot 35µm, met waferafmetingen van 100-300mm. Het Echo systeem werkt met driemaal de signaal-ruisverhouding (SNR) van bestaande producten, en ondersteunt een breed scala aan filmdikten, van zeer dunne 50Å films tot 35µm ondoorzichtige films en metaallagen. Bovendien beschikt het Echo systeem over materiaalkarakteriseringsmogelijkheden, waaronder in-line tijdsdomein thermo-reflectie voor implantaatcontrole en thermische geleidbaarheidskarakterisering.
Delen
Naar het originele artikel.
Wettelijke waarschuwing
Onto Innovation Inc. houdt zich bezig met het ontwerpen, ontwikkelen, produceren en ondersteunen van meet- en inspectie-instrumenten voor de halfgeleiderindustrie. De producten van het bedrijf omvatten geautomatiseerde meetsystemen; geïntegreerde meetsystemen; inspectie/karakterisering van het volledige oppervlak van siliciumwafers; inspectie van macrodefecten; geautomatiseerde classificatie van defecten en patroonanalyse; opbrengstanalyse; metrologie van ondoorzichtige film en andere. De producten worden voornamelijk gebruikt door fabrikanten van siliciumwafers, fabrikanten van geïntegreerde schakelingen voor halfgeleiders en geavanceerde verpakkingsfabrikanten die actief zijn op de halfgeleidermarkt. De producten worden ook gebruikt voor procesbesturing in een aantal andere speciale productmarkten, waaronder lichtgevende diodes, verticale oppervlakte-emitterende lasers, micro-elektromechanische systemen, CMOS-beeldsensoren, voedingsapparaten van silicium en samengestelde halfgeleiders, analoge apparaten, RF-filters, gegevensopslag en bepaalde industriële en wetenschappelijke toepassingen.