Lasertec Corporation kondigt aan dat het met succes een EUV-plasmalichtbron met hoge helderheid genaamd URASHIMA heeft ontwikkeld en dat het de lichtbron op zijn producten zal gebruiken. Lasertec heeft in 2019 's werelds eerste actinische EUV-patroonmaskerinspectiesysteem, ACTIS A150, uitgebracht. A150 wordt wereldwijd gebruikt door maskershops en waferfabrieken en wordt erkend als een onmisbaar hulpmiddel bij de productie en kwalificatie van EUV-maskers voor de productie van toonaangevende halfgeleiders.

URASHIMA zal worden ingericht op de ACTIS-serie actinische EUV-patrooninspectiesystemen voor verdere prestatieverbetering. URASHIMA is een laser-geproduceerd-plasma (LPP) lichtbron die EUV-licht produceert door laserpulsen te richten op vloeibaar tin dat op hoge snelheid ronddraait. Het ontwerp is geoptimaliseerd voor de ACTIS optiek om de warmtebelasting te minimaliseren en schade aan de pellicula te voorkomen, en om een hoge helderheid te bereiken bij de inspectie van het masker door de pellicula heen.

Een van de belangrijkste uitdagingen voor een op tin gebaseerde EUV-lichtbron is het beperken van debris. URASHIMA is een puinvrije lichtbron die gebruik maakt van een door Lasertec gepatenteerd puinreductiesysteem om vervuiling van het masker te voorkomen. Het voorkomt ook vervuiling van verlichtingsoptieken en zorgt voor een hogere productiviteit.

Lasertec is toegewijd aan het ontwikkelen van unieke oplossingen en het bijdragen aan de kwaliteitsverbetering en productiviteitsverbetering van EUV-lithografie.