Axcelis Technologies, Inc. Kondigt verzending aan van 'Purion EXE SiC Power Series' implantator en succesvolle 'Purion H200 SiC Power Series' Eval Closure bij toonaangevende fabrikanten van energie-apparaten in Japan

Axcelis Technologies, Inc. kondigde een verzending aan van de Purion EXE SiC hoge energie implantator van het bedrijf, evenals een succesvolle Purion H200 SiC medium energie implanteer evaluatie bij toonaangevende chipfabrikanten in Japan. De systemen zullen worden gebruikt voor de 150mm en 200mm productie van siliciumcarbide power devices voor de automobielindustrie, de industrie, de energiesector en andere energie-intensieve toepassingen.