Axcelis Technologies, Inc. kondigt meerdere zendingen aan van de Purion M? SiC implantator voor middenstroom naar verschillende toonaangevende chipfabrikanten in China. De systemen, die in het eerste kwartaal werden geleverd, zullen worden gebruikt voor de 150mm productie van siliciumcarbide power devices voor de auto-industrie, de industrie, de energiesector en andere energie-intensieve toepassingen.