Park Systems heeft de lancering aangekondigd van de Park NANOstandardo productlijn. Deze nieuwe productlijn levert kalibratiestandaardmonsters voor AFM- en SEM-metingen, zodat gebruikers hun monsters nauwkeurig kunnen meten en analyseren. De Park NANOstandard is gelijkwaardig aan NIST-traceerbare producten voor het meten van onder andere de kritische afmetingen (CD) van halfgeleiderpatronen.

De Park NANOstandard producten omvatten AFM Tip Characterizer (AFMTC) en High Magnification Calibration (HMC). De AFMTC is een kalibratiemonster ontworpen om de straal en de halve kegelhoek van een atoomkrachtmicroscooptip (AFM) te evalueren. Het is voorzien van nanopatronen met lijnbreedtes van 10 nm tot 50 nm.

Het is herleidbaar naar het Korean Research Institute of Standards and Science (KRISS) voor ISO 17034:2016 en is herleidbaar via de atomaire roosterconstante in het siliciumsubstraat door HR-TEM. Er wordt ook een softwareprogramma voor kalibratie en onzekerheidsberekening meegeleverd. Het HMC-standaardmonster is gemaakt van polykristallijn silicium en heeft vijf gecertificeerde waarden voor lijnbreedtes van 20 nm tot 80 nm en vijf gecertificeerde waarden voor steekwaarden van 100 nm tot 900 nm.

Het HMC-standaardmonster is herleidbaar tot het KRISS voor ISO 17034:2016. Het is ook traceerbaar via de atoomroosterconstante in het siliciumsubstraat door middel van hoge-resolutie transmissie-elektronenmicroscopie (HR-TEM). De Park NANOstandard producten worden in samenwerking met Park Systems vervaardigd door Kims Reference Corp.

De Park NANOstandard productlijn is ontworpen voor een betrouwbare en nauwkeurige kalibratie van AFM- en SEM-systemen, zodat gebruikers hun monsters nauwkeurig kunnen meten en analyseren.