Revasum kondigt de introductie aan van een 200mm conversiekit voor hun 6EZ Siliciumcarbide (SiC) Chemisch Mechanisch Polijsten (CMP) platform
06 juli 2023 om 02:53 uur
Delen
Revasum kondigt de beschikbaarheid aan van 200mm SiC wafer polijstmogelijkheden op het 6EZ platform. De 6EZ heeft zijn waarde al bewezen bij de productie van grote volumes 150mm SiC substraten en een 200mm conversiekit is nu volledig getest en uitgebracht, zodat klanten de mogelijkheid hebben om 6EZ systemen in het veld te upgraden. De 6EZ is het eerste CMP-gereedschap voor een enkele wafer dat vanaf de basis is ontworpen voor het polijsten van SiC wafers.
De architectuur van de 6EZ in combinatie met de gepatenteerde koeltechnologie maakt de hogere neerwaartse kracht en tafelsnelheden mogelijk die gewenst zijn voor CMP van harde materialen zoals SiC. Het gepatenteerde ViPRR dragerontwerp houdt de wafer vast terwijl de polijstwrijving op de pad geminimaliseerd wordt, voor minder polijsten van de pad, betere wafer-to-wafer consistentie en langere levensduur van de verbruiksartikelen.
Delen
Naar het originele artikel.
Wettelijke waarschuwing
Revasum, Inc. ontwerpt, produceert en verkoopt een portfolio van verwerkingsapparatuur voor halfgeleiders (ook bekend als systemen). De systemen die het bedrijf vervaardigt, vormen een integraal onderdeel van de productieketen bij het vervaardigen en verwerken van wafers van 200 mm en kleiner. Deze wafers worden gebruikt om microchips, sensoren, lichtgevende diodes (LED's), radiofrequentie (RF) apparaten en voedingsapparaten te maken, die gebruikt worden in verbonden Internet of Things (IoT) apparaten, mobiele telefoons, wearables, auto's, 5G en industriële toepassingen. Het productportfolio omvat slijp-, polijst- en chemisch-mechanische planarisatieapparatuur (CMP) die wordt gebruikt om substraten en apparaten te produceren voor de wereldwijde halfgeleiderindustrie. De apparatuuroplossingen omvatten de 6EZ Polisher, 7AF-HMG Grinder en gereviseerde apparatuur. De 6EZ Polisher is een geautomatiseerde, droog-in-droog-uit polijstmachine voor enkele wafers, speciaal ontworpen voor siliciumcarbide (SiC). Het bedrijf is actief in de Verenigde Staten, China, Europa, Japan, Korea en Taiwan.