De nettowinst over het vierde kwartaal bedroeg 1,4 miljard euro (1,70 miljard dollar) op een omzet van 4,3 miljard euro, vergeleken met 1,13 miljard euro en 4,04 miljard euro in dezelfde periode een jaar eerder.

Analisten gepolst door Refinitiv hadden een winst over het vierde kwartaal verwacht van 1,03 miljard euro op een omzet van 3,73 miljard euro.

CEO Peter Wennink zei dat de verbetering te danken was aan extra leveringen van zijn mid-level "Deep Ultraviolet" lithografiesystemen en upgrades van bestaande systemen, omdat de bezettingsgraad van bestaande chipfabrieken hoog was.

ASML maakt lithografiemachines, die tot 200 miljoen euro per stuk kunnen kosten, en gebruikt gerichte lichtbundels om de schakelingen van computerchips in kaart te brengen die worden gemaakt door grote klanten zoals Taiwan Semiconductor, Samsung en Intel.

ASML voorspelde 4 miljard euro omzet voor het eerste kwartaal van 2021 op sterke boekingen van 4,2 miljard euro.

ASML-aandelen zijn de afgelopen weken naar all time highs gestegen en sloten op 439,9 euro te midden van nieuws over chip tekorten in sommige sectoren, en op nieuws dat belangrijke klanten van plan zijn om zwaar te investeren in nieuwe fabrieken in 2021 die nieuwe ASML-apparatuur nodig zullen hebben.

Het bedrijf zei in november dat het een "lage dubbelcijferige" omzetgroei verwachtte in 2021.

Maar in een toelichting op de winstcijfers woensdag zei CFO Dassen dat dat wellicht te laag is. Het bedrijf verwacht een groei van 10% in machines voor fabrikanten van logische chips, 20% groei in machines voor geheugenchipfabrikanten en 30% groei in service-inkomsten, zei hij.

Maar die cijfers kunnen worden opgewaardeerd, zei hij, "in de veronderstelling dat we niet zullen worden geconfronteerd met meer beperkingen op het geopolitieke front en ... exportcontroles dan wat we vandaag zien", zei hij.

ASML mag zijn nieuwste en duurste tools niet meer verschepen naar Chinese halfgeleiderfabrikanten na een campagne van druk van de Amerikaanse regering onder president Donald Trump, wiens termijn vandaag afloopt, om geen apparatuur te verschepen om redenen van nationale veiligheid.

De Nederlandse regering heeft tot nu toe exportvergunningen geweigerd aan ASML voor het verschepen van zijn meest geavanceerde apparatuur naar Chinese klanten op het vasteland.

(1 dollar = 0,8235 euro)