Veeco Instruments Inc. kondigt aan dat een toonaangevend halfgeleiderbedrijf een order heeft geplaatst voor meerdere lasergloeisystemen om het ontwerp en de productie van 2-nanometer gate-all-around logische halfgeleiderchips te versnellen. De bestelling omvat LSA201 Laser Spike Annealing Systemen naast een NSA500 Nanoseconde Gloeisysteem. Gate-all-around is een verticale stapeling van vlakke kanalen die resulteert in een verbeterde aandrijfstroomcapaciteit van het apparaat met minimale lekkage, minder stroomverbruik en betere algemene prestaties.

Laser-spikegloeien is een gloeitechnologie in milliseconden die gebruikt wordt bij de productie van halfgeleiders aan de voorkant om de weerstand van belangrijke transistorstructuren te verlagen door doteermiddelen te activeren. Het LSA-systeem van Veeco is in staat om op hoge temperatuur te gloeien en tegelijkertijd binnen de beperkte thermische budgetten van geavanceerde apparaten op geavanceerde knooppunten te blijven. Het NSA500-systeem breidt de mogelijkheden voor gloeien uit naar toepassingen met een laag thermisch budget, zoals Backside Power Delivery en Contact Annealing voor geavanceerde nodes en toepassingen voor materiaalmodificatie, zoals het verwijderen van holtes, herkristallisatie en korrelgroei.

Deze gloeistappen zijn essentieel voor het bepalen van de elektrische eigenschappen en prestaties van de resulterende apparaten.