Advanced Energy Industries, Inc. heeft het NavX impedantieaanpassingsnetwerk met algoritmen en directe generatorcommunicatie onthuld, waarmee superieure niveaus van nauwkeurige en herhaalbare plasmabeheersing mogelijk worden, wat cruciaal is bij 'Angstrom-Era' fabricage. De volgende generatie halfgeleider etsprocessen vereist ongekende niveaus van plasmacontrole tijdens snelle pulsen, frequente overgangen en langere recepten die nodig zijn om kleinere, snellere en efficiëntere chips met complexere 3D-structuren te fabriceren. Advanced Energy's NavX matching netwerk is speciaal ontworpen met directe match-generator communicatie en ultrasnelle afstemming met behulp van AE hardware en eigen algoritmen. Dit maakt RF-gesynchroniseerde impedantieaanpassing tijdens multilevel pulstoestanden mogelijk voor nauwkeurige regeling van plasmakarakteristieken.

NavX synchroniseert direct met de eVerest RF-generator en bevat eigen Advanced Selectable Tuning- en Velocity Tuning-algoritmen die de responssnelheid voor pulssequenties optimaliseren. Het +/- 10% frequentiebereik van het systeem zorgt voor een snellere afstemming en toegang tot een breder impedantiebereik. De immuniteit voor intermodulatievervorming (IMD) handhaaft de afstemnauwkeurigheid in multifrequentietoepassingen en schaalbare pulstoestanden bieden een pad naar nieuwe energieregimes.

Het NavX-afstemmingsnetwerk is volledig compatibel met het PowerInsight by Advanced Energy® IoT-platform, dat snelle toegang biedt tot hogeresolutie, bruikbare gegevens die procesoptimalisatie ondersteunen.