Voorwaarden voor subsidies zijn onder andere het delen van overtollige winst met de Amerikaanse overheid, en bronnen in de industrie hebben gezegd dat het aanvraagproces zelf vertrouwelijke bedrijfsstrategieën aan het licht kan brengen.

"We kunnen bevestigen dat we met de Amerikaanse overheid communiceren over de CHIPS ACT-richtlijnen," zei TSMC, 's werelds grootste producent van contractchips, in een korte verklaring per e-mail.

De Zuid-Koreaanse president Yoon Suk Yeol zei vorige maand ook dat de criteria bedrijven als Samsung Electronics Co Ltd en SK Hynix Inc. zorgen baren.

De Taiwanese minister van Economie Wang Mei-hua vertelde verslaggevers maandag dat TSMC specifiek met de Verenigde Staten aan het praten was over de details van de subsidies.

"De Taiwanese overheid en de industrie hebben een zeer goed begrip (van wat er gaande is) en hopen dat de details van de relevante subsidiewetgeving geen invloed zullen hebben op de industriële samenwerking tussen de twee partijen en de kosten voor industriegerelateerde bouw," zei ze.

Taiwan Semiconductor Manufacturing Co Ltd (TSMC) investeert $40 miljard in een nieuwe fabriek in de westelijke Amerikaanse staat Arizona, ter ondersteuning van de plannen van Washington voor meer chipfabricage in eigen land.

Details over de verwachte subsidies voor de fabriek zijn niet bekendgemaakt.

De subsidies zouden komen uit een pool van $52 miljard aan onderzoeks- en productiefondsen die gereserveerd zijn onder de CHIPS Act.

Het Amerikaanse ministerie van Handel zei vorige maand dat het vertrouwelijke bedrijfsinformatie zal beschermen en verwacht dat de eis om overwinsten te delen alleen zal voorkomen wanneer projecten de verwachte cashflow aanzienlijk overschrijden.